【摘要】CrN涂层具有较高的硬度、优良的韧性和摩擦磨损以及热稳定性和抗高温氧化性等优点,在切削刀具、模具、航空航天、装饰等领域具有非常广泛的应用前景,目前制备CrN涂层的主要方法有电弧离子镀、普通直流磁控溅射。电弧离子镀具有高离化率沉积涂层硬度高以及膜基结合力好等优点,然而电弧温度过高容易产生大液滴导致涂层表面粗糙和光学性能差,并且当涂层沉积厚度增加时涂层内应力也相应的增加。而普通的直流磁控溅射沉 […]