【摘要】以316L不锈钢为基底,SiC晶体为靶材,Ar为源气体,采用磁控溅射法在不同温度下制备出系列SiC过渡层。然后以高纯石墨作靶,Ar和CHF3为源气体在相同工艺条件下再续镀一层F-DLC薄膜,形成SiC/F-DLC复合薄膜。研究表明,相比于F-DLC薄膜,复合薄膜的附着力显著增加,血液相容性明显改善。通过样品的拉曼和红外光谱分析了不同温度下制备的SiC过渡层以及复合薄膜结构的演变。结果表明, […]

【摘要】随着我国航空航天工业、电子工业、汽车工业以及模具工业飞速发展,在相关制造业领域中高速切削技术与加工新型难加工材料技术广泛应用,因此对刀具的耐用度有了更高的要求。硬质合金基CVD金刚石涂层刀具非常适合加工复合材料、石墨、陶瓷以及有色金属,因此得到广泛应用。如何提高金刚石涂层与硬质合金基体之间的附着力一直是CVD金刚石涂层刀具研发的关键问题。通过施加中间过渡层,降低钴粘结相的催石墨化作用,改善 […]