【摘要】铁电薄膜材料因其具有在低电压下极化快速翻转、低功耗、宽动态范围内的高敏性、低滞现象、高有效能量密度等特性，因而在存储器、传感器和微电子机械系统(MEMS)等器件应用领域具有独特的优势和广泛的前景。钛酸盐类铁电薄膜物理因其无铅成分和良好的铁电、压电性能，可作为微纳器件应用的候选材料。因此关于钛酸盐类铁电薄膜制备工艺和性能改善研究成为目前高度关注的课题。然而对钛酸盐类铁电薄膜的研究多专注于其电 […]