【摘要】由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用，对其性质的研究一直是人们的关注所在。本文主要研究了在40.68MHz单射频激发的容性耦合Ar等离子体中掺入不同的电负性气体O2、Cl2和SF6，形成混合的电负性等离子体。并通过朗缪尔静电探针对其进行诊断测量，对电负性等离子体的参数特性进行了研究分析。另外，自构建了一套13.56MHz激发的基于圆筒型空心阴极射频等离子体放 […]