【摘要】在8—12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质+DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得,DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法,所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。基底和镀膜材料选择是同其光学和机械性能相关的。Ge的红外增透膜和介质+DLC膜在红外中波红外波段是非常重要的大气窗口,在航天、气象、遥感等领域有着 […]