【摘要】本论文主要通过研究激光作用下GaN的温度场分布情况来研究如何提高激光剥离效率。结合一维热传导模型和GaN受热分解过程在理论上分析了激光剥离时GaN的温度场分布情况以及影响激光剥离效率的参数,并利用COMSOL软件建立二维模型分析了激光作用下GaN的温度场分布,以此为指导设计实验,细致地研究了不同条件下的激光剥离情况。所获得的的主要成果如下：(1)通过分析一维热传导模型和GaN分解的热力学过 […]