【摘要】随着集成电路的飞速发展,传统的多晶硅-绝缘体-多晶硅(PIP)或金属-氧化物-硅衬底(MOS)结构电容由于存在寄生电容、电压线性度差等问题已经无法满足下一代射频和模拟/混合信号集成电路的要求。因此,新型的金属-绝缘体-金属(MIM)结构的电容器被提出来以取代原有的传统结构电容。然而,随着芯片集成度的提高,进一步要求在不改变电容值的情况下减少单个电容器所占据的有效面积。因此研究高密度MIM电 […]

【摘要】农业废弃物、碳纳米管、氧化硅等基质表面都含有很多羟基等活性基团，可以接枝具有良好配位能力的有机膦酸，能够结合重金属离子形成金属络合物或螯合物，从而实现废水中重金属离子的去除。基于有机膦酸良好的配位螯合能力，本文分别采用不同的膦酸对荞麦皮、稻子壳、碳纳米管和氧化硅等基质进行膦酸化改性，制备了各种新型的膦酸功能化吸附材料，并对其结构进行FT-IR、SEM、XRD和TG等一系列表征分析，且对膦酸 […]