【摘要】静电感应晶体管(SIT)是一类新型功率器件。与其它半导体器件相比具有一系列优异的性能,例如电流容量大、耐高压、噪声低、抗辐射能力强、无二次击穿等,而成为很有发展前景的电力半导体器件,在诸多领域都得到了广泛的应用[1]。本论文主要是围绕小功率射频静电感应晶体管的设计与制作而展开的。主要内容如下：详细阐述了静电感应器件的发展历程,对比分析了不同器件结构的优点和缺点,并与其它常用的半导体器件做了 […]