【摘要】碳化硅SiC(SiliconCarbide)陶瓷材料具有高耐磨性、耐腐蚀性、高脆性和低断裂韧性的特点，目前广泛应用于机械、电子、化工、航空航天等领域。随着空间天文学和激光工程学的发展，碳化硅陶瓷材料以其优异的性能，近年来已成为空间光学系统和高能量激光系统中反射镜的主要制造材料。然而，碳化硅陶瓷的硬度高、脆性大，使用传统的超精密加工方法，加工难度大，生产效率低，更难以达到光学材料高精度表面质 […]