【摘要】反应磁控溅射法制备薄膜是一个非平衡过程，工艺条件的调控可以改变轰击粒子的能量、反应活性、迁移能力等，使得薄膜在生长过程中会伴随着组元成分变化、晶粒取向演变、相转变以及微观组织结构变化等，进而影响其性能（如硬度、断裂韧性、附着力、摩擦磨损、光学、电学、磁学等）。在NaCl结构的二元氮化物（如TiN、CrN）薄膜生长中，提出了很多生长模式和机理，用来构建工艺条件和择优取向演变的关系，但是对相结 […]