【摘要】采用离心辅助微模塑法制备微器件,分别制备了铁镍合金微流道、微阵列、微反应器和微齿轮。该方法包括以下步骤：(1)用聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性模复制原始硅模板的微结构；(2)通过对浆料参数的优化制备出分散性良好,固含量高达85wt%的Fe-Ni乙醇基浆料；(3)采用离心注模的方法对浆料进行成型；(4)干燥24h后脱模,于1040℃、1050℃、1060℃、1070℃和1080℃五种不同的烧 […]