【摘要】在材料表面制作微结构有许多应用,比如改变材料的颜色、改变材料的疏水特性、改变材料的粗糙程度,但对于单晶硅而言最为重要的应用是改变材料的光学特性。本文总结了能够在材料表面形成微结构的方法,详细介绍了利用超短脉冲激光制备单晶硅表面微纳结构的过程和机理,并对飞秒激光烧蚀单晶硅表面微结构的过程进行了进一步的实验研究。利用飞秒脉冲激光照射单晶硅表面,达到一定阈值后,在其辐射区域会自发形成微纳结构；这 […]