【摘要】相移干涉术是现代光学检测技术的重要手段之一。按移相手段的不同,可以把相移干涉术分为硬件相移干涉术和变频相移干涉术。变频相移干涉术是通过改变光源的波长来实现相移,不需移动任何部件,消除了由硬件移动而产生的非线性相移误差。该技术对大口径光学元件的测量具有重要的意义,因此展开对变频相移干涉术的研究十分必要。本文主要研究基于变频相移干涉的面形检测算法。主要内容有：论述了相移干涉术的基本原理、变频相 […]