【摘要】超精密光学元件在航空航天、国防、太空遥测、军事侦察、科学仪器等现代尖端技术领域中应用日益广泛。具有光学自由曲面元件的光学系统因其特殊的曲面结构和多自由度设计，展现出了优于传统光学系统的光学性能。但由于其不规则的几何特征，光学自由曲面的加工精度和表面质量很难保证。抛光加工是在不破坏工件已达到几何形态的基础上提高其表面粗糙度。决定抛光质量的主要因素是抛光工具和工件表面之间的抛光压力，为最大限度 […]