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超宽光谱分色滤光膜的研制 10月09日

【摘要】本文结合项目的要求,在Ge基底上镀制超宽波段分色滤光膜,要求膜层对0.6-0.9μm和1.06μm的电视机光波段反射,对7.5-10.51μm红外波段透射。由于该分色膜的工作波段覆盖了0.6-10.5μm的超宽波段,因此在研制的初期,使用OptiLayer薄膜设计软件对所选的ZnS和YbF3两种薄膜材料的折射率色散和物理厚度进行了细致的分析计算。利用计算得到的物理厚度调整XTC/2石英晶体 […]