【摘要】本文围绕小闪耀角凸面闪耀光栅的制作方法，对离子束束散角和涂层修整槽形展开了理论和实验研究，主要包含以下几方面的内容：首先介绍了凸面闪耀光栅的意义和国内外凸面光栅的研究进展，综合叙述了离子束刻蚀技术和Kaufman离子源系统的工作原理。深入研究了光刻胶、K9玻璃和石英三种光学材料的刻蚀特性，以氩气为工作气体，得到了三种材料刻蚀速率与入射角度的拟合方程，为离子束束散角的研究提供了基础。详细介绍 […]