【摘要】低能离子束溅射/刻蚀固体表面形成自组织纳米微结构，是一种高效、简便、低成本制造大面积有序纳米结构的方法。该方法具有加工精度高、改变离子束参数可实现纳米微结构的尺寸控制、易于实现自动化等特点。因此，低能离子束刻蚀晶体表面形成自组织纳米结构近年来一直是学术界研究的热点。本文针对单晶硅和蓝宝石材料，研究了不同离子束参数刻蚀形成规则自组织纳米微结构的关键技术，所取得主要研究成果是：1.对离子束刻蚀 […]