【摘要】采用磁控溅射工艺,在PET表面沉积SiO2薄膜,利用SEM观察镀膜的表面形貌,通过附着力测试仪检测SiO2/PET膜基的结合强度,研究基材PET表面清洗工艺对SiO2/PET膜基结合强度的影响。结果表明:结合强度因PET基材表面清洗工艺的不同而不同,其中经等离子清洗的膜基结合强度最大,达0.14MPa,分别较深度清洗、一般清洗和不清洗的膜基结合强度高7.83%,27.27%,55.56%; […]

【摘要】针对离线真空磁控溅射法中不可避免的掉渣现象(即针孔缺陷问题),依据概率统计法,提出调整玻璃校正位置改变玻璃基片在镀膜舱室的不同溅射位置的方法,延缓掉渣频发的时间,降低掉渣缺陷发生的概率,最终达到提高产品的质量和良品率的目的。将此种方法通过生产实践试验与未采用此方法前数据做比较,结果表明掉渣的频率有了明显降低,正常生产产品的时间有了显著地延长,低辐射镀膜玻璃的良品率有了显著的提高。 【作者】 […]

【摘要】随着透明光电子器件的应用与发展，深紫外透明氧化物半导体的光电性能越来越受到人们的光注。Ga2(1-x)In2xO3(Ga2O3-In2O3)固溶体可认为是Ga2O3和In2O3的合金相，其光学带隙能随In含量的变化在3.7~4.9eV之间发生变化。Ga2(1-x)In2xO3固溶体具有较宽的光学带隙，故在深紫外波段透过率较高，可以用来作为一些深紫外光电子器件。但是，满足化学计量比的Ga2( […]