【摘要】椭偏仪是一种通过偏振光测量薄膜材料表面性质的仪器。当一束偏振光照射到薄膜材料上时,其反射光或透射光的偏振态会发生变化,根据椭偏参数的变化可以通过数值反演算法来推断薄膜材料的光学常数、厚度、孔隙度、粗糙度等信息,这种方法称为椭偏术。这是是一种快速的、非破坏性的、适应各种采样策略的测量方法。目前光谱椭偏仪被广泛用于薄膜相关的材料学研究,以及IC制造、显示、光伏等薄膜相关的行业。因此关于椭偏仪的 […]

【摘要】椭圆偏振态的分析和研究以其在薄膜材料结构参数和光学常数绝对值测量中所显示的高准确度,高灵敏度、非破坏性、非接触式等优点而在科学研究和工业领域得到了广泛的应用。本论文在探索和研究如何进一步提高椭偏参数的测量速度和精准度两方面完成了以下工作：1.研究了一种并行椭圆偏振态的测量方法,将12个微型检偏晶体集成为一个组合式检偏器,采用CCD二维面阵探测器对光强进行多通道探测,彻底消除机械转动结构,显 […]