椭偏仪校准方法研究

【摘要】椭偏仪是一种通过偏振光测量薄膜材料表面性质的仪器。当一束偏振光照射到薄膜材料上时,其反射光或透射光的偏振态会发生变化,根据椭偏参数的变化可以通过数值反演算法来推断薄膜材料的光学常数、厚度、孔隙度、粗糙度等信息,这种方法称为椭偏术。这是是一种快速的、非破坏性的、适应各种采样策略的测量方法。目前光谱椭偏仪被广泛用于薄膜相关的材料学研究,以及IC制造、显示、光伏等薄膜相关的行业。因此关于椭偏仪的规范化、标准化变得尤为重要,对椭偏仪的校准方法的研究具有重要的意义。光谱椭偏仪的校准首先是椭偏谱的校准,这是一种不同于基于标准样品来校准光谱椭偏仪的新方法,避免了标准样品表面污染、随时间变化等不稳定性对校准结果的影响。本文探讨了光谱椭偏仪校准的基本思路,提出了一种可溯源到反射比标准和延迟量标准的校准方法,并进行了不确定度分析。在实际应用中椭偏角需要经过复杂的数学模型和运算才能得到应用层面的量值,不论是数学模型本身还是被测量所受环境条件的影响,都会给应用层面的量值的准确性产生影响；通过对仪器层面进行校准,将仪器的影响降到最小,则数学模型和其他影响量的影响就成了主要的,本论文还将分析椭偏仪在膜厚测量上的一个应用实例,即椭偏仪在硅球表面层测量中的应用,对影响膜厚量值的影响量做了分析。
【作者】刘玉龙；
【导师】陈赤；
【作者基本信息】中国计量科学研究院，测试计量技术及仪器，2014，硕士
【关键词】椭偏仪；校准；计量；

【参考文献】
[1]吕游.基于过程数据的建模方法研究及应用[D].华北电力大学,控制理论与控制工程,2014,博士.
[2]周焰.中国银行业面临的金融压力及其传导机制研究[D].华东交通大学,产业经济学,2013,硕士.
[3]左飞.新型的远程时间频率校准系统[D].北京交通大学,2014.
[4]曾佳俊,孙水裕,陈楠纬,卓钟旭,莫如松,黄绍松,刘敬勇.调理剂FeCl3/CaO对深度脱水市政污泥燃烧特性的影响[J].环境科学学报.
[5]魏衡江.印度波卡罗（Bokaro）钢铁厂的现代化工程[J].冶金自动化,1996,05:21.
[6]刘妍.FPR2/ALX在扁桃体炎上皮组织中的表达和临床意义[D].华中科技大学,耳鼻咽喉头颈外科学,2013,硕士.
[7]董智凝.助词“了”的习得情况考察[D].复旦大学,汉语国际教育,2012,硕士.
[8]罗建利.基于用户兴趣的概念查询扩展研究[D].扬州大学,2005.
[9]马艺珈.浙江省卫生适宜技术推广应用政策评价研究[D].杭州师范大学,社会医学与卫生事业管理,2013,硕士.
[10]王渊.基于RFM模型的协同过滤方法及其在个性化推荐中的应用[D].杭州电子科技大学,统计学,2014,硕士.
[11]刘忠勇,康亚峰,张志帆,刘传银.十二烷基苯磺酸钠敏化的壳聚糖—氮掺杂石墨烯复合膜修饰玻碳电极同时测定多巴胺和对乙酰氨基酚[J].郧阳师范高等专科学校学报,2013,06:41-44.
[12]孙超.几种鲚属的鱼类分子遗传特征研究[D].南京农业大学,水生生物学,2012,硕士.
[13]徐文君.楚漆器纹样推广的交互设计研究[D].湖北工业大学,设计艺术学,2014,硕士.
[14]阴强.河北省普通高校排球师资现状调查研究[D].河北师范大学,体育教学,2014,硕士.
[15]孙浩月.防止图结构攻击的社会网络隐私保护技术研究[D].东北大学,计算机软件与理论,2011,硕士.
[16]赵家欣.陪都重庆城市住宅法律制度简析[D].西南政法大学,法律史,2012,硕士.
[17]何飞.基于系统动力学的企业网络舆情危机预警研究[D].首都经济贸易大学,管理科学与工程,2013,硕士.
[18]周希.高血压大鼠血管紧张素Ⅱ对血管平滑肌细胞PAI-1表达的作用与ERK、AT_1受体的关系以及替米沙坦干预的影响[D].重庆医科大学,老年医学,2004,硕士.
[19]周晓芳.UBE3A介导AnnexinA2的表达对乳腺癌细胞BT-549增殖、凋亡及浸润转移的影响研究[D].川北医学院,耳鼻咽喉科学,2014,硕士.
[20]张兴安.互联网企业商业模式创新路径研究[D].浙江财经学院,企业管理,2012,硕士.
[21]陈翔.单环刺螠血红蛋白F-I全长cDNA序列克隆、原核表达及抗菌活性研究[D].华侨大学,生物学,2014,硕士.
[22]刘猛.养殖草鱼、鲫鱼和团头鲂健康模型的建立及其验证[D].苏州大学,水产养殖,2013,硕士.
[23]罗瑞芬.论中国女性时尚杂志中精英文化和大众文化的矛盾与共生[D].华中师范大学,传播学,2014,硕士.
[24]刘海军.北京城建重工桥梁钢结构项目商业计划书[D].首都经济贸易大学,工商管理（专业学位）,2014,硕士.
[25]杨远见.浅析电子商务征税[D].中国社会科学院研究生院,经济法（专业学位）,2014,硕士.
[26]杨晶.论机动车交通事故民事责任[D].南京师范大学,法律,2012,硕士.
[27]苏伟.杭州经济适用房现状分析及产生影响探讨[D].浙江大学,2007.
[28]刘斌.几种修饰电极的电催化析氢性能研究[D].合肥工业大学,应用化学,2013,硕士.
[29]李红波.肾衰Ⅰ号合剂治疗慢性肾衰及其对患者血清TNF-α和NO影响的临床研究[D].湖北中医学院,中医内科学,2004,硕士.
[30]陈孝.越南学生汉语句法成分偏误分析[D].广西民族大学,汉语国际教育,2013,硕士.
[31]张俊艳.海南岛热带天然针叶林—阔叶林交错区的群落特征研究[D].中国林业科学研究院,生态学,2014,博士.
[32]肖杨.动机—技能—脱敏—心理能量模式预防戒毒人员复吸的干预效果评价[D].华中科技大学,流行病与卫生统计学,2013,硕士.
[33]布朗森（BransonQuenzer）.中美消费者绿色消费的比较研究[D].哈尔滨工业大学,政治经济学,2014,硕士.
[34]王明慧.民国青花纹饰的类型分析[D].鲁东大学,美术学,2013,硕士.
[35]王红锐.智能门禁系统中人脸识别技术的研究[D].武汉理工大学,控制科学与工程,2013,硕士.
[36]戴蒙.MATN3,GPR98,ADPIOR1,PLIN1与中国汉族人群和美国高加索人群骨密度的关联研究及Meta分析[D].北京交通大学,2014.
[37]付广,张发强.利用声波时差资料求取烃盖层异常含气浓度的方法及其应用[J].石油地球物理勘探,1998,04:511-518+572.
[38]张琳.2型糖尿病并发感染患者细胞免疫与体液免疫指标变化分析[D].郑州大学,临床医学（专业学位）,2013,硕士.
[39]张会军.新型农村社会养老保险政策实施中存在的问题及对策研究[D].中南林业科技大学,农村与区域发展,2013,硕士.
[40]张宇石,陈旭梅,于雷,何波,林国鑫.基于换乘站点的轨道交通与常规公交运营协调模型研究[J].铁道学报,2009,03:11-19.
[41]张敬芳.电液位置伺服系统的遗传神经网络PID控制策略研究[D].河北科技大学,机械工程,2013,硕士.
[42]梁凤英.新型多元锗、锡硫属化合物的溶剂热合成及其结构表征[D].内蒙古师范大学,无机化学,2012,硕士.
[43]赵阳.商标商品平行进口法律问题研究[D].华东政法学院,法律,2004,硕士.
[44]周琨.中学物理实验教学中物理学史的渗透研究[D].东北师范大学,教育,2012,硕士.
[45]杨仕芳.歌唱语音形态研究[D].西南大学,音乐与舞蹈学,2013,硕士.
[46]朱恒.基于结构突变的人民币均衡汇率研究[D].浙江财经学院,金融学,2013,硕士.
[47]董菽荣.论我国法人作品立法的问题及其解决[D].南京大学,法律,2013,硕士.
[48]刘丹.从电视相亲节目看媒介的道德责任[D].湖南工业大学,伦理学,2012,硕士.
[49]邬晓敬,张伟伟,宋述芳,叶正寅.翼型跨音速气动特性的不确定性及全局灵敏度分析[J].力学学报,2015,03:.
[50]杨青.信访制度的法律问题研究[D].中国地质大学（北京）,宪法学与行政法学,2013,硕士.