【摘要】光伏产业的发展伴随着太阳能电池片效率的进一步提升。多晶硅片在做成电池片之前往往要经过表面制绒的步骤，以降低太阳光线在表面的反射，提高电子与空穴的产生。但传统的湿法制绒工艺因水资源的消耗和对环境造成污染等原因在应用方面受到环评限制，因此，一种基于强电负性的氟基等离子体干法制绒工艺进入了人们的视野。目前，氟基等离子体特性以及对晶硅表面制绒工艺过程仍需要人们做进一步的加深理解。本文重点对不同实验 […]