【摘要】随着光纤的出现,光纤传感技术已经成为传感技术的一个重要分支。光纤传感器具有本质安全、抗电磁干扰能力强、适用于远程监测和恶劣环境等优点,备受学术界和工业界重视。目前,光纤传感技术的研究核心主要包括两个方面：第一、对制作工艺的研究,降低制作成本和实现规模化生产；第二、提高光纤传感器件对外界环境参量变化的响应灵敏度。光刻技术从集成电路引入到光纤器件制作,极大的促进了光纤器件在通信和传感领域的应用 […]

【摘要】MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)技术是近代迅速发展起来的一项高新科技,具有微型化、集成化、可批量生产和多学科交叉等特点,是现代科技发展的重要领域。近年来,随着MEMS技术的飞速发展,MEMS器件在国民经济和国防军事等众多领域发挥着不可估量的作用,MEMS器件的设计、加工开始受到各国研究人员的关注。本论文对硅基MEMS器件的设计、加工技术进行了深入的研究, […]