【摘要】MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)技术是近代迅速发展起来的一项高新科技,具有微型化、集成化、可批量生产和多学科交叉等特点,是现代科技发展的重要领域。近年来,随着MEMS技术的飞速发展,MEMS器件在国民经济和国防军事等众多领域发挥着不可估量的作用,MEMS器件的设计、加工开始受到各国研究人员的关注。本论文对硅基MEMS器件的设计、加工技术进行了深入的研究, […]