具有复杂结构的硅基MEMS压力敏感膜片的制作及其应用研究

【摘要】MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)技术是近代迅速发展起来的一项高新科技,具有微型化、集成化、可批量生产和多学科交叉等特点,是现代科技发展的重要领域。近年来,随着MEMS技术的飞速发展,MEMS器件在国民经济和国防军事等众多领域发挥着不可估量的作用,MEMS器件的设计、加工开始受到各国研究人员的关注。本论文对硅基MEMS器件的设计、加工技术进行了深入的研究,提出并制作了一种压力敏感环形波纹状氮化硅膜,相对于普通平面薄膜,该结构膜具有内应力小、弹性模量高、强度高和稳定性好等特点,可作为高性能压力和振动传感膜片,在光电传感领域具有重要的应用价值。第一章首先介绍了MEMS技术的研究现状、基本特征和技术分类,并对MEMS技术的发展趋势进行了论述,最后提出了本论文的主要研究内容和研究目的。第二章首先介绍并分析了MEMS加工技术中的光刻工艺,从光刻基本原理、光刻掩模版、光刻胶和光学光刻机四个方面对光刻工艺进行了全面阐述。同时,对具体实验过程中遇到的各类问题进行了归纳分析,以便在MEMS器件加工中及时排除问题,优化工艺。第三章主要介绍和分析了MEMS器件加工技术中的刻蚀工艺,包括湿法刻蚀(硅基各向同性刻蚀与硅基各向异性刻蚀)和干法刻蚀(离子束溅射刻蚀、等离子体刻蚀和反应离子刻蚀)。第四章主要基于MEMS器件的设计和制作,着重研究压力敏感环形波纹状氮化硅膜的制备。从前期的模版设计到具体实验参数的探索,通过大量的实验得到了相对适合的工艺参数,从而实现环形波纹状氮化硅膜制作。第五章首先对全文研究内容进行了概括总结,讨论并分析了本论文中的不足之处,并对本文后续的进一步研究提出建议、进行展望。
【作者】冯飞；
【导师】徐峰；
【作者基本信息】安徽大学，光学，2014，硕士
【关键词】MEMS；光刻胶；光刻掩模版；湿法刻蚀；干法刻蚀；ICP-98A；压力敏感环形波纹状氮化硅膜；

【参考文献】
[1]何维明,马风云.水分梯度对沙地柏幼苗荧光特征和气体交换的影响[J].植物生态学报,2000,05:630-634.
[2]吴小明.考虑气象条件下的电力系统短期负荷预测研究[D].浙江大学,2003.
[3]李伟.钻孔灌注桩质量控制可拓综合评价法的应用研究[D].长安大学,桥梁与隧道工程,2014,硕士.
[4]秦瑜.从《正义论》到《万民法》[D].华南师范大学,马克思主义哲学,2004,硕士.
[5]郁葱.脊髓GluN1在急性阿片药物诱导痛觉过敏中的作用及调节机制[D].重庆医科大学,组织工程与细胞工程,2014,博士.
[6]田超.320m~2烧结机烧结专家系统投入使用[J].冶金自动化,2010,03:29.
[7]曹桂均,林通源,杨华昌,熊志勇,李凯.青藏铁路接近连续式无线机车信号系统的研究[J].中国铁路.2003(04)
[8]陶凌云.中小企业融资过程中的信用探析[D].苏州大学,2004.
[9]陈韵,王尚槐.LDV中频率跟踪器的误差分析与高精度微机数据处理器设计[J].冶金自动化,1988,01:28-31.
[10]唐亚莉.DH集团战略人力资源管理实证研究[D].电子科技大学,高级管理人员工商管理（EMBA）（专业学位）,2012,硕士.
[11]李哲.体外调节GJIC对兔成骨细胞成脂分化的影响[D].遵义医学院,外科学,2013,硕士.
[12]梅红明,刘建政.新型模块化多电平直流融冰装置[J].电力系统自动化,2013,16:96-102.
[13]宋杰.Android智能手机上彩色图像的版权保护[D].华中师范大学,计算机技术,2014,硕士.
[14]刘苍.论有限责任公司股东查阅权的客体范围和正当目的[D].沈阳师范大学,法律,2014,硕士.
[15]王冰.潜山沉积环境图及潜山成藏条件分析[J].新疆石油地质.1993(04)
[16]张振来.文安县乡镇企业发展战略研究[D].天津大学,工商管理,2004,硕士.
[17]郑美灵.生物质发电项目商业化可行性及政策支持研究[D].杭州电子科技大学,技术经济及管理,2013,硕士.
[18]王莉娜.GO/BiOI复合可见光催化材料的制备及性能研究[D].哈尔滨师范大学,2013.
[19]马静.集束化综合护理预防ICU呼吸机相关性肺炎的临床研究[D].辽宁医学院,护理学,2012,硕士.
[20]刘春生,胡寿松.一类基于状态估计的非线性系统的智能故障诊断[J].控制与决策,2005,05:557-561.
[21]姚天明.新型烷基酚类雌激素BPA电化学生物传感器的研究[D].上海师范大学,2012.
[22]黄兵旺.挠性卫星H_∞回路成形姿态控制研究[D].哈尔滨工业大学,飞行器设计,2013,硕士.
[23]秦天.无线传感器网络中协作策略的研究[D].南京邮电大学,电路与系统,2013,硕士.
[24]朱金霞.云计算环境下中小企业信息化需求研究[D].南京大学,工业工程（专业学位）,2013,硕士.
[25]蓝秀华.教师专业化与我国中小学教师教育改革[D].湖南师范大学,课程与教学论,2004,硕士.
[26]苏天珍.基于皮肤肿瘤轮廓不规则性和表面网状结构的黑色素瘤检测技术研究[D].杭州电子科技大学,模式识别与智能系统,2013,硕士.
[27]陈艳.“一号文件”与农民增收问题研究[D].首都师范大学,马克思主义中国化,2013,硕士.
[28]邵顺.基于人民调解与医疗责任保险的医患纠纷处置模式研究[D].苏州大学,公共卫生（专业学位）,2013,硕士.
[29]韩蕙心.基于CTCS-3的地面设备仿真研究[D].西南交通大学,电力电子与电力传动,2013,硕士.
[30]孔恒.城市地铁隧道浅埋暗挖法地层预加固机理及其应用研究[D].北京交通大学,2003.
[31]孙倩茜.纬编横机针织物悬垂变形影响因素的研究[D].河北科技大学,纺织工程,2012,硕士.
[32]衡杰.基于FPGA的工业相机图像处理系统设计[D].苏州大学,电子与通信工程（专业学位）,2013,硕士.
[33]尹迎春.传播学视角下的政务微博研究[D].辽宁大学,新闻学,2012,硕士.
[34]王艳丽.文科硕士研究生科研创新能力及其影响因素研究[D].苏州大学,教育经济与管理,2014,硕士.
[35]杜菲菲.票据相对无因性研究[D].兰州大学,民商法学,2013,硕士.
[36]陈天怡.有或无高血压的IgA肾病患者肾内小动脉病变的临床及病理意义[D].首都医科大学,内科学,2014,硕士.
[37]李亮.基于动态贝叶斯网络方法的战场态势重构技术研究[D].南昌航空大学,控制理论与控制工程,2013,硕士.
[38]张凡.南极普里兹湾碳酸盐体系与碳通量研究[D].国家海洋局第三海洋研究所,海洋化学,2013,硕士.
[39]刘越.当代中国政党制度特色研究[D].大连理工大学,思想政治教育,2013,硕士.
[40]郭东辉.中学生科学课堂学习环境的测评研究[D].首都师范大学,学科教学,2014,硕士.
[41]吴建清.钢骨混凝土短柱在长期轴压荷载作用下的性能研究[D].厦门大学,结构工程,2014,硕士.
[42]王晓娟.基于多传感器信息的移动机器人定位研究[D].浙江大学,2010.
[43]刘会宾.新中国武术发展部分特征研究[D].河南大学,体育教育训练学,2004,硕士.
[44]李守业.甘肃省水资源承载力及结构分析[D].兰州商学院,数量经济学,2014,硕士.
[45]罗维.体外预应力连续刚构桥施工及监控技术研究[D].重庆交通大学,土木建筑工程,2011,硕士.
[46]张勇.基于数据仓库与案例推理的机组产能模型研究与应用[D].大连理工大学,2005.
[47]刘姗姗.从翻译适应选择论的角度看外交模糊语的口译策略[D].吉林大学,翻译（专业学位）,2013,硕士.
[48]赵静博.多西环素对碱烧伤大鼠角膜炎症细胞浸润的抑制作用[D].广西医科大学,眼科学,2013,硕士.
[49]郑鹏飞.基于改进差分进化算法的分层输电网规划研究[D].东北电力大学,电气工程,2013,硕士.
[50]任思谕.媒体在塑造地方政府形象中的作用与意义研究[D].渤海大学,新闻学,2013,硕士.