基于纳米压痕试验的TiN镀膜有限元分析

基于纳米压痕试验的TiN镀膜有限元分析

作者:师大云端图书馆 时间:2016-07-14 分类:期刊论文 喜欢:3709
师大云端图书馆

【摘要】基于纳米压痕试验,利用Oliver和Pharr法求解氮化钛(TiN)镀膜的弹性模量和刚度,采用DEFORM有限元分析软件,通过量纲分析及曲线拟合法确定了TiN镀膜的屈服强度;针对不同膜厚,取镀膜上7个特征点进行力学性能有限元分析,通过膜基分离试验进行了验证。结果表明:压头压入点P0所受应力最大,其值为4230MPa,膜基结合处Ps点出现应力集中,所受切应力最大,其值随膜厚增大(1~2.5μm)而由3150MPa降低至2260MPa,该位置为镀膜最易剥落处;膜基分离试验证实镀膜分离区就在Ps点附近;随着镀膜厚度增加,基底对镀膜的影响程度逐渐减小。
【作者】吴军;金杰;周兆忠;张元祥;
【机构】衢州学院机械工程学院;浙江工业大学;
【关键词】压痕试验;TiN镀膜;曲线拟合;有限元;应力;

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