【摘要】基于纳米压痕试验,利用Oliver和Pharr法求解氮化钛(TiN)镀膜的弹性模量和刚度,采用DEFORM有限元分析软件,通过量纲分析及曲线拟合法确定了TiN镀膜的屈服强度;针对不同膜厚,取镀膜上7个特征点进行力学性能有限元分析,通过膜基分离试验进行了验证。结果表明:压头压入点P0所受应力最大,其值为4230MPa,膜基结合处Ps点出现应力集中,所受切应力最大,其值随膜厚增大(1~2.5μ […]