基于Si-SOI键合的微电容超声波换能器设计 03月31日
【摘要】微电容超声波换能器(CMUT)具有高灵敏度、宽频带、高机电转换效率、硅材料与介质阻抗匹配好、易于加工尺寸多样的微型器件、适合制造大阵列、批量化生产等优势,在工业控制、环保设备、医疗设备、航空航天及水下探测等领域有迫切的需求和广泛的应用前景,因此对CMUT的研究具有极其重要的科研价值和实用意义。本文基于平板电容原理,结合Si-SOI低温键合技术,设计了一种引线交错式的CMUT结构,期望能减小 […]
- 分类:硕士论文
- 标签: ANSYS, CMUT, MEMS, Si-SOI低温键合, 万方数据网, 中国知网免费入口, 中国知网全文期刊数据库, 法学毕业论文答辩
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