【摘要】微电容超声波换能器（CMUT）具有高灵敏度、宽频带、高机电转换效率、硅材料与介质阻抗匹配好、易于加工尺寸多样的微型器件、适合制造大阵列、批量化生产等优势，在工业控制、环保设备、医疗设备、航空航天及水下探测等领域有迫切的需求和广泛的应用前景，因此对CMUT的研究具有极其重要的科研价值和实用意义。本文基于平板电容原理，结合Si-SOI低温键合技术，设计了一种引线交错式的CMUT结构，期望能减小 […]