【摘要】磁性隧道结(MTJ)在读头和磁性随机存储器(MRAM)、磁性传感器等方面中具有良好的应用前景,因而被广泛研究。而MTJ在传感器等方面的应用,要求MTJ的隧道磁电阻(TMR)传输曲线具有无磁滞以及低噪声的特性。因此,对MTJ磁性能以及噪声特性的研究,具有重要的意义。本论文研究了CoFeB自由层厚度和退火温度对CoFeB/MgO/CoFeB结构MTJ性能(包括矫顽力和TMR传输曲线)的影响；研 […]