【摘要】透明导电氧化物是具备良好的导电性和透过性的，这使得该类透明导电氧化物在平板显示、太阳能电池、气敏元件、薄膜电阻器、有机发光二极管和节能玻璃窗等领域广泛应用。由于柔性衬底，质量轻、体积小、便于携带和易弯曲等优点，逐步进入人们的视野。柔性基底的透明导电膜广泛应用于柔性光电设备、柔性显示器、柔性薄膜太阳能电池等领域。我们在柔性PET衬底上，利用磁控溅射技术在室温下制备了Ga2O3\Cu\ITO透 […]