【摘要】本文以改善钨掺杂DLC薄膜（W-DLC）的摩擦学性能为出发点，利用离子束沉积/直流磁控溅射技术分别制备了不同W含量的W-DLC薄膜以及不同Ti含量的W/Ti-DLC薄膜，并结合低温离子渗硫技术制备了WSx/W-DLC薄膜。在MS-T3000球盘摩擦磨损试验机和OptimalSRV-2高温摩擦磨损试验机上考察了WSx/W-DLC薄膜、W-DLC薄膜和W/Ti-DLC薄膜在MoDTC/ZDDP […]