【摘要】类金刚石（DLC）薄膜由于其高硬度、良好的化学稳定性等特点而受到广泛的关注。但是其较差的热稳定性和低的膜基结合力大大限制了其在特殊工况下的应用。研究表明：金属硫化物掺杂能够有效改善类金刚石薄膜的综合性能。本文以梯度复合薄膜技术为主导，采用离子束辅助沉积和低温离子渗硫处理相结合的方式制备了WS2/W-DLC和MoS2/Mo-DLC两种复合固体润滑薄膜，利用扫描电子显微镜、三维白光形貌仪、X射 […]

【摘要】本文以等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,利用高功率脉冲技术、恒流双极脉冲技术和液相碳源制备了纳米结构的类金刚石薄膜。考察了各种工艺参数对薄膜纳米结构的影响,探讨了薄膜纳米结构与其机械性能、摩擦学和表面特性之间的相关性。通过选择合适的参数制备系列纳米结构类金刚石薄膜。讨论了纳米结构薄膜力学性能的产生机制。同时考察了特殊纳米结构在薄膜摩擦过程中的结构演化,并进一步讨论了纳米结构对摩擦 […]