【摘要】MEMS红外光源阵列作为红外光电标识装置的重要组成，具有可变频调制、穿透性强、安全可靠、信息容量大等工作特点，在红外无线通信技术领域（如近地空间通信、目标搜救指引、战场敌我识别等）具有重要的应用价值。为了满足红外光电标识装置智能化、微型化的应用需求，开展MEMS红外光源阵列的编码调制与光电标识特性研究成为光电标识技术领域的研究热点。本论文选用基于高掺杂低阻多晶硅薄膜辐射层和低热容空腔悬浮体 […]

【摘要】随着国民经济的快速发展，由石油化工、电力电气以及煤炭行业等产生的大量工业废气对环境的污染越来越严重。由此而产生的温室效应、酸雨以及大气臭氧层空洞等大气污染现象早已屡见不鲜。近年来，人们对生活环境与健康状况的关注意识日趋增强，对空气质量的检测也提出了更高的要求。如何及时、准确地实现易燃、易爆以及有毒有害气体的高灵敏度、高可靠性检测愈来愈引起人们的关注。因此，设计出一种具有灵敏度高、响应速度快 […]