【摘要】MEMS红外光源阵列作为红外光电标识装置的重要组成，具有可变频调制、穿透性强、安全可靠、信息容量大等工作特点，在红外无线通信技术领域（如近地空间通信、目标搜救指引、战场敌我识别等）具有重要的应用价值。为了满足红外光电标识装置智能化、微型化的应用需求，开展MEMS红外光源阵列的编码调制与光电标识特性研究成为光电标识技术领域的研究热点。本论文选用基于高掺杂低阻多晶硅薄膜辐射层和低热容空腔悬浮体 […]