【摘要】飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）是将飞行时间质量分析技术与二次离子质谱技术相结合，其极快的分析速度和脉冲化的离子束使得样品的消耗量极少，而且TOF-SIMS具有极宽的分析质量范围。TOF-SIMS已在不同各领域得到广泛应用。论文依托于国家重大科学仪器设备开发专项项目：同位素地质年代学专用TOF-SIMS科学装置。TOF-SIMS控制软件的开发是该项目的关键任务之一，并且该仪器的结构 […]