【摘要】宽带隙氧化物半导体材料具有优良的光学和电学特性,因此在发光二极管、半导体激光器、薄膜太阳能电池、透明薄膜晶体管、气体探测器等诸多领域有着广阔的应用前景。(3-Ga2O3薄膜是一种多功能的透明氧化物半导体材料,具有优良的热稳定性和物理化学稳定性,在可见光区域具有优良的透过性能,因此在透明光电器件、气敏传感器、太阳能电池和紫外激光器等领域具有广阔的应用前景。采用传统工艺比如磁控溅射、电子束蒸发 […]