【摘要】集成化的微型光波导谐振式陀螺是基于谐振式陀螺原理、利用微机电系统工艺制作出的小体积、可批量化的芯片级光学陀螺，它不仅可以大大减小器件体积和重量，还能充分减小器件的热效应，是陀螺发展的一个重要方向。作为谐振式陀螺和核心敏感单元，谐振腔的选择一直是陀螺研究的重点，但传统的光纤环形谐振腔难以实现芯片级的集成化生产，不能应用于集成化微型陀螺，目前常用于集成光波导陀螺的掺杂二氧化硅波导环形谐振腔和铌 […]