【摘要】针对动态测量误差特点,提出了对系统误差和随机误差分别进行建模和组合补偿的思想来提高时栅传感器的动态测量精度。对具有周期性变化特征的系统误差采用傅里叶级数逼近的方法进行建模,运用最小二乘求解超定方程组的方法计算出系统误差的补偿参数。对于系统误差补偿后残留的随机误差采用灰色预测GM(1,1)模型进行预测,通过模型残差检验和修正提高预测的准确度。实验结果表明,利用傅里叶级数逼近模型有效地补偿了系 […]

【摘要】椭圆偏振态的分析和研究以其在薄膜材料结构参数和光学常数绝对值测量中所显示的高准确度,高灵敏度、非破坏性、非接触式等优点而在科学研究和工业领域得到了广泛的应用。本论文在探索和研究如何进一步提高椭偏参数的测量速度和精准度两方面完成了以下工作：1.研究了一种并行椭圆偏振态的测量方法,将12个微型检偏晶体集成为一个组合式检偏器,采用CCD二维面阵探测器对光强进行多通道探测,彻底消除机械转动结构,显 […]