【摘要】随着MEMS的发展,微能源逐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。现有的各种微能源由于其体积、使用寿命、环境适应能力、集成性等方面的制约，无法满足MEMS器件对能源的需求。基于MEMS的压电式同位素电池具有体积小、结构简单、工作稳定性好、寿命长、能量密度高、抗干扰性强等优点，并且不需要补充燃料，因此逐渐成为微能源研究的方向。能量转换结构是同位素微电池的核心器件，其性能决定了同位素微电池的转换 […]