【摘要】本文利用射频磁控溅射技术制备GZO透明导电薄膜,研究了溅射压强、溅射功率、高温退火、H等离子处理等工艺对薄膜性能的影响,制得了光电性能优异的GZO透明导电薄膜。在此基础上,设计了GZO薄膜用作硅基太阳能电池透明窗口和电极的新型太阳能电池,开展了前期测试与研究。主要工作内容包括：1.采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上生长了高透明导电的GZO薄膜,研究了溅射压强、溅射功率对GZO薄膜结构、形貌、 […]