【摘要】为解决微型工件的高精度测量问题，研制了一台基于蓝光DVD光学读取头的可视化非接触扫描探头。该探头包括可视化模块、测量模块和CCD相机三部分。该探头可以实现微小尺寸的纵向和横向高精度测量，借助CCD相机，透过探头的可视化系统可以观察待测件表面形貌，并可以看清聚焦光点与待测位置的相对关系。论文主要完成了以下工作：(1)对市售蓝光DVD光学读取头的结构加以改进，将其作为探头的位移传感器，完成微位 […]