【摘要】先进光学元件包括高精度平面和非球面元件,在国防及民用高技术领域都有着重要而广泛的应用。该类元件是硬脆性难加工材料,为保证其加工精度,必须严格控制超精密加工环境。机床配套辅助设备一般都会产生热、振动等,从而影响超精密加工环境。以本课题组自主研制的大尺寸高精度平面磨床2MK1760为例,配套辅助设备包括精密油冷却机、液压油泵和精密水冷机等,其发热和振动会严重影响超精密加工过程。因此必须对超精密 […]