【摘要】激光干涉仪将光学精密测试原理与电子技术相结合，可实现快速、高精度测量，广泛应运用于精密制造、测试计量领域。目前激光干涉仪普遍可以实现纳米精度，但由于干涉测量容易受到环境条件干扰，且在纳米测量中需进一步提高信号质量与信号处理方法，故目前激光干涉仪结合电子技术不断提出新原理、新结构，力求干涉系统的可靠性与微型化，提高干涉仪的实际应用性能。论文在分析现有典型激光干涉仪原理的基础上，根据偏振光迈克 […]