【摘要】随着我国越来越强的自主创新能力和先进制造技术，我国在超精细加工、纳米材料研制、集成电路与微机电系统(MEMS)器件制造等高新技术产业，取得了高速的发展。因为上述这些高新技术产业都是以纳米技术为基础，所以迫切地需要建立量值统一的纳米计量标准和溯源体系。为实现国家纳米量值传递基准的溯源体系，中国计量科学研究院研制了一套大范围纳米几何结构计量基准装置。本课题研究正是在该装置的基础上，改进其中的激 […]

【摘要】激光干涉仪将光学精密测试原理与电子技术相结合，可实现快速、高精度测量，广泛应运用于精密制造、测试计量领域。目前激光干涉仪普遍可以实现纳米精度，但由于干涉测量容易受到环境条件干扰，且在纳米测量中需进一步提高信号质量与信号处理方法，故目前激光干涉仪结合电子技术不断提出新原理、新结构，力求干涉系统的可靠性与微型化，提高干涉仪的实际应用性能。论文在分析现有典型激光干涉仪原理的基础上，根据偏振光迈克 […]