【摘要】压电、铁电材料因具有优异的力电耦合性能，而广泛的应用于各类微电子器件。近年来，压电响应力显微技术(PFM)已经发展成为在纳米尺度无损表征压电、铁电等极性材料的重要工具。但是，基于PFM的定量分析存在很大的困难，而且相应的研究极富挑战性。本论文主要针对PFM技术定量分析的相关问题展开研究，包括导电探针与压电材料间的电弹性场分析，压电系数定量分析，静态铁电畴成像，以及PFM对纳米尺度铁电畴结构 […]