【摘要】当今超精密加工技术的迅猛发展促成纳米三坐标测量机的诞生，其中的关键技术是研制具有纳米级分辨率的位移传感器。本文基于实验室所研制的微型纳米位移传感器，研究其干涉信号处理技术，并发展了DSP处理机系统研究信号计数与细分技术，最后基于实验室的纳米三坐标测量机，在位移传感器信号的反馈下，完成机台的运动控制。实验室研发了两款微型纳米位移传感器，分别是利用Michelson干涉原理的偏振迈克逊干涉仪（ […]