【摘要】随着磁约束核聚变、等离子体材料加工、空间推进器等前沿科技的迅猛发展，磁化射频等离子体以其优异的性能正越来越受人们的关注。在磁约束核聚变研究中，壁清洗技术已被广泛应用于托卡马克装置中,用以降低装置的本底杂质水平,改善器壁的再循环。一些基于低温等离子体的清洗技术亦投入到实际应用中，并被证明具有良好的清洗效果。这些等离子体清洗技术包括直流辉光放电（GDC），以及电子回旋共振（ECR）和离子回旋共 […]