【摘要】精密、超精密加工技术的不断发展，要求切削力测量传感器及系统微小化、高精度、高分辨率、高响应、实时性等。研制高精度、能适应恶劣环境测量压力要求的薄膜电阻测力传感器具有广阔的应用前景和很好的社会效益。基于MEMS技术，在刀具内嵌入薄膜微传感器测量切削力，可以直接的反应刀具工作情况，具有准确、有效、可靠性高的特点。本文对嵌入刀具的薄膜传感器测量切削力的关键技术做了如下研究：1.分析研究了切削力测 […]