【摘要】微机电系统(MEMS)具有集成度高、体积小、功耗低、性能稳定和价格低廉等特点,现正逐步替代传统的机械结构与电路组成的电子元器件。其应用领域主要涉及信息通信、自动控制、航空航天、生物化学、医疗器械、消费电子以及军工产品等。本文首先介绍了基于折叠式双S形反转串联驱动器结构的电热MEMS微镜原理及相关应用,并对驱动器的驱动原理进行了详细的阐述,分析了驱动器形变与镜面偏转间的内在关联；紧接着讨论了 […]