【摘要】纳米压印技术是美国华裔科学家的StephenY.Chou教授于1995年提出的一种复制加工纳米尺度图案的技术。因其具有产品分辨率高,工艺灵活,加工周期短等优点而受到广泛关注与应用。1998年,滚动压印技术被进一步提出,它不但继承了平面压印的优点,还克服了其间隙生产的不足,具有可以持续复制、产量高的特点,因而具有广阔的应用前景。滚动压印模具是滚动压印系统中的关键部件,本论文主要工作是基于紫外 […]